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岛津涡轮分子泵海外首条核心产线天津投产,半导体真空装备“中国造”再提速

作者: 2026年06月12日 来源: 浏览量:
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近日,涡轮分子泵核心产线正式在天津岛津液压有限公司投产。这是岛津该类核心产线首次布局海外市场,此次落地投产,不仅推动天津岛津液压有限公司完成从传统液压元件制造到超高真空核心装备领域的战略性跨越,也进一

近日,涡轮分子泵核心产线正式在天津岛津液压有限公司投产。这是岛津该类核心产线首次布局海外市场,此次落地投产,不仅推动天津岛津液压有限公司完成从传统液压元件制造到超高真空核心装备领域的战略性跨越,也进一步完善了岛津在华本土生产布局,助力国内高端真空装备国产化发展。(报道来源于:岛津中国)

走进天津岛津液压有限公司,一条全新涡轮分子泵生产线已全线贯通。这条总投资超1200万元的产线,利用原有36亩厂区、1.7万平方米建筑,把一座老厂房升级成无尘室、动平衡室、配套实验台一应俱全的精密基地。据悉,这是岛津制作所在海外布局的首条涡轮分子泵核心生产线,标志着国际高端真空技术在天津落户。

涡轮分子泵被誉为半导体制造的真空心脏,在芯片刻蚀、薄膜沉积、光伏电池镀膜等高端制程中扮演核心角色。过去,国内用户只能依赖进口。天津产线的全面投产,意味着高精度、长寿命、可定制的高端涡轮分子泵正式上市,不仅降低采购周期,也为后续国产高端装备国产化率提升奠定供应链基础。

“中国市场在快速增长,我们必须在客户身边生产、服务。”岛津制作所流体事业部长表示,新产线将根据中国客户需求快速迭代产品:泵体尺寸、抽速范围、接口形式均可按工艺需求定制;同时,通过缩短交付半径,把原本需要45天的交期压缩到15天以内,性价比优势显著提升。

天津岛津液压有限公司涡轮分子泵生产线竣工投产仪式现场,岛津制作所首席执行役员、产业机械事业部长田中雅彦表示,未来,项目后续将持续推进供应链本土化建设,重点培育本土优质零部件供应商,稳步提升零部件、配套服务的本地采购占比。

本次岛津产线落地并非简单的产能转移,企业将通过创造就业岗位、带动本土供应链发展等方式,深度赋能天津区域产业经济高质量发展,助力国内高端真空装备产业规模化、本土化升级。

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